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超純水是在純水的基礎上進一步將水中的導電介質幾乎完全去除,又將水中不離解的膠體物質、氣體及有機物均去除至很低程度的水。也沒有人體所需的礦物質微量元素,一般不可直接飲用,對身體有害,會析出人體中很多離子。超純水設備一般應用于太陽能光伏、光學光電、LED、LCD、電子半導體、線路板、電池電鍍、電力、表面涂裝、石油化工、醫療制藥等方面的工業用水。
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